Khi nói đến việc sản xuất các bộ phận cho thiết bị bán dẫn và quang tử, vấn đề không chỉ là về micron-mà còn về các vật liệuđẩy gia công CNC đến giới hạn vật lý của nó. Các thành phần nhưmâm cặp wafer, buồng plasma, Vàđồ đạc liên kếtngày càng được làm từvật liệu siêu cứnggiốnggốm sứ, cacbua vonfram, hoặc thép không gỉ cứng.
Thử thách: Khi vật chất phản kháng
Vật liệu siêu cứng rất cần thiết cho độ bền, độ ổn định nhiệt và khả năng chống ăn mòn, đặc biệt là trong môi trường bán dẫn-chân không và nhiệt độ cao{2}}cao. Nhưng chúng mang đến những thách thức lớn:
Lực cắt cực cao
Sự mài mòn dụng cụ nhanh chóng, ngay cả với các dụng cụ cacbua hoặc kim cương được phủ
Vết nứt vi môhoặcbiến dạng nhiệttheo gia công thông thường
Lấythành phần gốm tiên tiến, chẳng hạn. Trong một dự án liên quan đến vòng đỡ tấm bán dẫn silicon nitride, độ cứng của vật liệu đã vượt quá HRA 90. Dụng cụ tiêu chuẩn không hoạt động trong vài phút và sự tích tụ nhiệt gây ra các vết nứt vi mô trên bề mặt.
Tại sao gia công thông thường thất bại
Các thiết lập gia công truyền thống gặp khó khăn với những vật liệu này vì:
Dao phay tiêu chuẩn không thể chịu được độ cứng
Ma sát cao dẫn đến sinh nhiệt quá mức, làm biến dạng chi tiết hoặc giảm tuổi thọ dụng cụ
Rung động hoặc rung lắc tạo ra các vết nứt giòn trong gốm sứ hoặc cacbua
Điều này gây khó khăn đặc biệt cho việc duy trì dung sai ở các bộ phận córàng buộc chiều chặt chẽ, chẳng hạn như giá đỡ ống kính quang học hoặc khung đo lường.
Cách tiếp cận của chúng tôi: Chiến lược đường chạy dao + Kỹ thuật xử lý
TạiBISHEN Chính xác, chúng tôi không coi những phần này là công việc tiêu chuẩn. Chúng tôi:
Sử dụngDụng cụ được phủ PCD, CBN và kim cương-được thiết kế cho các chất nền siêu cứng
Áp dụnglực-thấp, tốc độ cắt-caovới tốc độ tiến dao và thời gian dừng được tối ưu hóa
Thuêcách ly chất làm mát hoặc gia công khôkhi độ nhạy nhiệt là rất quan trọng
Kết hợptrong quá trình-kiểm trađể bắt các vết nứt hoặc dị thường bề mặt trước khi vượt qua lần cuối
Trường hợp thực tế-thế giới: Gia công-Gắn gốm có độ tinh khiết cao
Một OEM in thạch bản toàn cầu đã giao nhiệm vụ gia công cho chúng tôigiá đỡ alumina có độ tinh khiết cao-tùy chỉnhvới<±5 μm tolerance. Using a controlled micro-cutting strategy, specialized jigs, and multi-pass finishing, we completed the parts with không có vết nứt nhỏvà kéo dài tuổi thọ dụng cụ lên hơn 30%.
Được chế tạo cho những vật liệu bền bỉ, đáng tin cậy trong công nghệ-cao
Cho dù đó là gia côngbộ phận zirconia để cấy ionhoặcthiết bị cố định bằng hợp kim vonfram cho hệ thống chụp ảnh tia X, chúng tôi mang đến kiến thức chuyên môn, công cụ và khả năng kiểm soát quy trình cần thiết để giải quyết những điều người khác tránh.
