Nghiên cứu điển hình: Đột phá trong xử lý chất nền thủy tinh thạch anh
Đối tượng gia công: Chất nền thủy tinh thạch anh dùng cho quang khắc
Thông số kỹ thuật:
Vật liệu: Thủy tinh thạch anh có độ tinh khiết cao-99,99%
Tính năng xử lý: vát hai mặt C0.2 + vách bên thẳng đứng
Yêu cầu bề mặt: Ra < 150nm (cấp gương)
Kích thước: 145×145×5,5mm±0,01mm
Phân tích các điểm khó xử lý của ngành
Là vật tư tiêu hao cốt lõi của thiết bị sản xuất chất bán dẫn, các bộ phận thạch anh cho quang khắc cần phải đáp ứng đồng thời ba tiêu chuẩn nghiêm ngặt: độ truyền qua của vật liệu > 99,6%, dung sai kích thước ±10μm và độ nhám thành bên Ra <150nm. Phương pháp xử lý truyền thống sử dụng quy trình mài bánh mài, có hai vấn đề lớn trong ngành:
Điểm nghẽn hiệu quả: xử lý từng phần-mất tới 120 phút
Khuyết tật bề mặt: residual grinding wheel pattern leads to Ra value>560nm
Mất công cụ: tuổi thọ dụng cụ thông thường dưới 50 chiếc
BISHENgiải pháp đổi mới công nghệ
Theo quan điểm về đặc tính cứng và giòn của vật liệu thạch anh, hỗn hợpgiải pháp xử lýđược thông qua:
• Hệ thống khắc và phay siêu âm chính xác 20kHz
• Dao phay lưỡi PCD micro{0}}tích hợp (cạnh R0,05mm)
• Quy trình cắt theo lớp hướng trục (2μm mỗi lớp)
So sánh các lợi thế xử lý đo được
Thông qua quá trình xác minh và so sánh, các chỉ số chính đã được cải thiện đáng kể:
Giá trị ứng dụng ngành
Giải pháp này đã giải quyết thành công bài toán xử lý “nút cổ chai” trong quy trình nội địa hóa các bộ phận máy in thạch bản, nâng công suất sản xuất chất nền thạch anh từ 10 chiếc mỗi ngày lên 50 chiếc và tỷ lệ đạt tiêu chuẩn xử lý từ 63% lên 98,5%. Theo phát hiện của giao thoa kế laser Zeiss, giá trị PV độ chính xác bề mặt xử lý là<λ 10="" (λ="632.8nm)," which="" meets="" the="" qualified="" assembly="" standards="" of="" optical="">
VềBISHEN
Độ chính xác Bishenchuyên xử lý các bộ phận phần cứng chính xác, với nhà xưởng tiêu chuẩn rộng 7.500 mét vuông và các dịch vụ của công ty bao gồm hàng không vũ trụ, thiết bị y tế, robot công nghiệp và các lĩnh vực khác. Với khả năng xử lý các bộ phận kết cấu phức tạp và chứng nhận hệ thống ISO, nó cung cấp cho khách hàng-các giải pháp quy trình đầy đủ từ thiết kế và phát triển đến sản xuất hàng loạt.
