Trong thế giới sản xuất thiết bị bán dẫn,chất lượng bề mặt không chỉ liên quan đến tính thẩm mỹ-mà còn liên quan đến chức năng, độ bền và độ chính xác. Các thành phần như mâm cặp wafer, ngàm ống kính và thanh dẫn hướng chính xác không chỉ phải đáp ứng dung sai kích thước mà còn cảyêu cầu hoàn thiện bề mặt khắc nghiệt, thường ở dướiRa 0,1 mm.
Tại sao mức độ hoàn thiện bề mặt nanomet lại quan trọng
Thiết bị bán dẫn hiệu suất cao-phụ thuộc chủ yếu vào độ chính xác của tiếp xúc và khả năng tương thích trong phòng sạch. Độ nhám bề mặt vượt quá ngưỡng nanomet có thể:
Can thiệp vàođộ chính xác của vị trí wafer
Tăngma sát và mài mòntrong quá trình chuyển động
Gây ratán xạ tín hiệu quang, ảnh hưởng đến quang khắc
Tạo nênbẫy hạt, tăng nguy cơ ô nhiễm
Ví dụ, mộtvòng hỗ trợ sân khấu wafervới độ nhám bề mặt trên thông số kỹ thuật có thể gây ra-rung động vi mô, làm giảm độ chính xác định vị và làm giảm năng suất.
Thử thách gia công CNC
Đạt được độ hoàn thiện bề mặt Ra Nhỏ hơn hoặc bằng 0,1 μm vượt xa các quy trình CNC tiêu chuẩn. Dụng cụ và thông số truyền thống thường để lại những vết xước nhỏ, vết gia công hoặc vết gia công-không thể chấp nhận được trong môi trường bán dẫn.
Phương pháp tiếp cận của chúng tôi đối với chất lượng cấp độ nanomet{0}}
TạiBISHEN Chính xác, chúng tôi đã phát triển quy trình gia công dành riêng cho các ứng dụng-nhạy cảm với bề mặt:
Sử dụngcông cụ cacbua hạt siêu mịnvới hình học tùy chỉnh
Đánh bóng thẻđược tích hợp vào đường chạy dao cuối cùng
Hệ thống kiểm soát chất làm mátđể tránh những vết rách nhỏ do nhiệt-gây ra-
Phối hợp vớiCMM và giao thoa kế ánh sáng trắng-để xác nhận độ nhám
Mỗi bộ phận đều trải qua quá trình kiểm tra nhiều{0}}giai đoạn không chỉ về dung sai kích thước mà còn vềtính nhất quán của bề mặt phụ{0}}microntrên tất cả các mặt phẳng tiếp xúc.
Vỏ thật: Gương-Tấm đỡ wafer đã hoàn thiện
Một khách hàng yêu cầu các tấm wafer nhôm có bề mặt hoàn thiện tốt hơnRa 0,05 μm, thống nhất trên toàn bộ vật cố định. Bằng cách sử dụng các kỹ thuật hoàn thiện-tốc độ cao được tối ưu hóa và các chiến lược đánh bóng tùy chỉnh, chúng tôi đã cung cấp các bộ phận vượt quá thông số kỹ thuật-sẵn sàng cho việc lắp ráp phòng sạch cấp EUV-.
Đừng để bề mặt hoàn thiện làm suy yếu hệ thống của bạn
Sự không hoàn hảo của bề mặt ở cấp độ nano có thể âm thầm làm tổn hại đến các cơ chế chính xác nhất của bạn. Nếu ứng dụng của bạn yêu cầulớp hoàn thiện quang học-, hoặchiệu suất ma sát vượt trội, hãy nói chuyện với chúng tôi. Chúng tôi sẽ giúp đảm bảo các bộ phận của bạn đáp ứng cả haisức chịu đựngVàkết cấu.
