Trong sản xuất thiết bị bán dẫn,các tính năng vi mô-như lỗ làm mát, kênh chân không hoặc ống dẫn vi mô-chất lỏngkhông phải là tùy chọn-chúng mang tính chất quan trọng-. Những cấu trúc nhỏ bé này đòi hỏiđộ chính xác cực cao, các cạnh rõ ràng và tính nhất quán, thường có đường kính dưới 100 micron.
Tại sao độ chính xác của lỗ vi mô- lại quan trọng
Vi kênh rất cần thiết trong các bộ phận như:
Tấm lạnh và tản nhiệt
Bộ phận quang học và đầu laser
Cổng chân không mâm cặp wafer
Các thành phần RF tần số cao-
Ngay cả sai lệch nhỏ nhất về đường kính, độ thẳng hàng hoặc chất lượng bề mặt cũng có thể làm gián đoạn quá trình tản nhiệt, bịt kín chân không hoặc động lực học chất lỏng-cuối cùng làm ảnh hưởng đến hiệu suất hệ thống.
Thử thách gia công CNC
Gia công lỗ-vi mô có những khó khăn đặc biệt:
Tính dễ vỡ của công cụtrong quá trình cắt-tốc độ cao
Nguy cơsự hình thành gờ hoặc các vết nứt vi mô-
Vấn đề sơ tán chipdẫn đến tắc nghẽn
Biến dạng nhiệttrong quá trình hoạt động kéo dài
Ví dụ, khi gia côngkênh tản nhiệt-vi mô trong tấm lạnh bán dẫn, một gờ hoặc độ lệch hình dạng chỉ vài micron có thể làm giảm độ dẫn nhiệt và ảnh hưởng đến độ ổn định của hệ thống.
Cách chúng tôi giải quyết nó
TạiBISHEN Chính xác, chúng tôi kết hợpđiều khiển trục xoay tốc độ cao-, dụng cụ có đường kính vi-, Vàchiến lược CAM thích ứngđể đảm bảo:
Độ tròn và độ côn của lỗ nằm trong dung sai chặt chẽ
Hoàn thiện-không có Burr mà không cần xử lý phụ
Điều khiển nhiều{0}}trục cho các tính năng vi mô có chiều sâu hoặc góc cạnh
Tùy chọn-xả khí trực tiếp hoặc siêu âm để giải phóng phoi
Kết quả đã được chứng minh
Đối với một khách hàng bán dẫn gần đây, chúng tôi đã cung cấptấm tản nhiệt bằng nhômvới hơn 500 lỗ siêu nhỏ, mỗi lỗ có đường kính Nhỏ hơn hoặc bằng 0,2 mm, trong phạm vi dung sai ±5 μm và Ra Nhỏ hơn hoặc bằng 0,2 μm. Các bộ phận đã vượt qua quá trình xác thực độ dẫn điện-niêm phong chân không và độ dẫn nhiệt-mà không cần làm lại.
Hãy nói về chi tiết vi mô của bạn
Độ chính xác ở cấp độ vi mô giúp phân biệt các hệ thống có hiệu suất-cao với các hệ thống không ổn định. Nếu các bộ phận của bạn yêu cầucác lỗ-vi mô hoàn hảo hoặc các kênh chính xác, chúng tôi sẵn sàng trợ giúp-từ tạo mẫu đến sản xuất số lượng lớn.
