Một trong những khách hàng bán dẫn của chúng tôi-một OEM-có trụ sở tại EU chuyên về in thạch bản EUV-đã tiếp cận chúng tôi với một thách thức: sản xuất một thiết bị có mật độ-caotấm làm mát vi kênhđược làm từ nhôm 6061-T6. Thành phần được yêu cầu trên1.200 lỗ-vi mô, mỗiØ 0,18 mm, với mộttỷ lệ chiều sâu-trên-đường kính là 10:1, Vàđộ chính xác vị trí dưới ±5 μmtrên toàn bộ bề mặt chi tiết.
Những thách thức chính bao gồm:
Dụng cụ bị gãydo tỷ lệ khung hình cực cao
Bảo trìđộ thẳng của lỗtrên độ sâu khoan dài
Đảm bảosơ tán chipmà không làm biến dạng các lỗ-vi mô
Phòng ngừabiến dạng nhiệttrong quá trình khoan liên tục
Để giải quyết những vấn đề này, chúng tôi đã sử dụng:
Dụng cụ khoan vi-chuyên dụngvới các kênh làm mát bên trong
Nhiều{0}}bướcchiến lược khoan mổvới khả năng kiểm soát dừng và rút lại
Xả nước có hỗ trợ-siêu âmđể đảm bảo giải phóng mặt bằng chip
Đang-xử lýổn định nhiệtgiữa các lần đi để kiểm soát việc mở rộng
Sau nhiều lần lặp lại và mô phỏng, chúng tôi đã triển khai mộtQuá trình khoan và doa 2 bướcđã đạt được hình dạng lỗ nhất quán và bề mặt bên trong-không có gờ. Đăng-kiểm tra gia công bằng cách sử dụngkính hiển vi kỹ thuật số 500×VàCMM với chức năng quét đầu dòđã xác nhận:
Tất cả các lỗ bên trong±3 μmdải dung sai
Độ nhám bề mặt bên dướiRa 0,2 mm
Độ lệch khoảng cách lỗ-đến-lỗ trong±4 μmtrên ma trận 150 mm × 150 mm
Thành phần này đã vượt qua các bài kiểm tra rò rỉ khí heli, kiểm tra hiệu suất truyền nhiệt và được chấp nhận đưa vào bản dựng thử nghiệm của khách hàng mà không cần làm lại.
