Trong ngành công nghiệp bán dẫn,độ chính xác ở cấp độ micron-không phải là điều xa xỉ-đó là điều cơ bản. Các thành phần được sử dụng tronghệ thống xử lý wafer, buồng khắc, Vàcông cụ quang khắcyêu cầudung sai kích thướcthường dưới 5 micron. Các phương pháp gia công CNC truyền thống gặp khó khăn trong việc đáp ứng những nhu cầu như vậy nếu không có hệ thống đo lường và kiểm soát quy trình chuyên dụng.
Thử thách: Khi Micron quan trọng
Không giống như các bộ phận công nghiệp thông thường, các bộ phận bán dẫn phải:
Duy trìđộ phẳng và độ song song cực cao
Cócăn chỉnh và cao độ lỗ chính xác
Đảm bảokhuyết tật bề mặt tối thiểucó thể ảnh hưởng đến hiệu suất chân không hoặc quang học
Ngay cả sai lệch nhỏ nhất cũng có thể dẫn đến:
Sai lệch trong quá trình chuyển wafer
Mất độ chính xác khi chiếu mặt nạ ảnh
Giảm năng suất do ô nhiễm hoặc trôi dạt hình học
-Ví dụ thực tế về thế giới: Khung công cụ in thạch bản
Trong một dự án liên quan đến mộtkhung hợp kim nhôm nhẹcho một hệ thống quang khắc,dung sai dưới 5 μmđược yêu cầu trên các bề mặt lắp đặt để đảm bảocăn chỉnh lớp phủ hoàn hảocủa các mẫu chip.
Để đạt được điều này, chúng tôi đã áp dụng:
Gia công CNC 5 trục có bù nhiệt
Điều khiển trục xoay tốc độ cao-rung động-cao
Vòng lặp phản hồi và thăm dò theo chiều thời gian thực-
Nếu không có độ chính xác như vậy, chỉ một sự dịch chuyển 10 μm có thể làm sai lệch việc căn chỉnh mặt nạ và giảm hiệu suất chip-khiến khách hàng phải chịu thời gian ngừng hoạt động đáng kể và tổn thất vật liệu.
Quy trình của chúng tôi tạiBISHEN Chính xác
Chúng tôi phục vụ các OEM bán dẫn với:
Phay và tiện CNC cực kỳ chính xác (độ lặp lại ±2~5μm)
Ra Nhỏ hơn hoặc bằng 0,2μm Độ hoàn thiện bề mặtcho vùng bịt kín quan trọng hoặc vùng quang học
Bao bì tương thích với phòng sạch-
Kiểm tra quét CMM và laser với các báo cáo có thể theo dõi
Nhóm của chúng tôi hiểu đượcmức độ quan trọng của mỗi micron-và hỗ trợ nó bằng kinh nghiệm phục vụ cả môi trường R&D và môi trường sản xuất có khối lượng-hỗn hợp thấp{2}}cao.
Tại sao nó quan trọng
Trong sản xuất chất bán dẫn, hình học là tất cả. Bất kỳ sự biến dạng, sai lệch hoặc vệt nào đều có thể dẫn đến:
Biến dạng mẫu
Lỗi xử lý wafer
Lỗi hệ thống chân không
Gia công chính xác không chỉ là về dung sai chặt chẽ-mà còn là đảm bảochức năng và độ tin cậycủa thiết bị sản xuất chip thế hệ tiếp theo.
